1、真空  vacuum

    在指定空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。

    注：真空一般是測量殘余氣體的壓力，單位為Pascals(Pa)或millibar(mbar)。1 mbar=100 Pa。

2 、真空泵  vacuum pump

    產(chǎn)生、改善和(或)維持真空的裝置。

    注：在本標準中，術語“真空泵”和“泵”具有相同的含義。

3、 泵入口  pump inlet

    被抽氣體進入真空泵的入口。

4、泵出口  pump outlet

    真空泵的出氣口或排氣口。
5 、最高起動壓力  maximum starting pressure

    泵可以起動的最高入口壓力。

6、最高出口壓力  maximum outlet pressure

    制造商規(guī)定的真空泵出口的最高壓力。

7、真空泵的抽氣量  throughput of a vacuum pump

    流經(jīng)泵入口的氣體流量，通常表示為每單位時間內(nèi)產(chǎn)生的氣體壓力與其體積的乘積。

8、被抽媒介  pumped media

    被真空泵抽除的物質(zhì)，如氣體、水蒸氣、霧狀液體和夾帶的固體微粒。

9、真空泵液  pump fluid

    真空泵運轉(zhuǎn)使用的液體。

10、初級真空泵  primary pump

    最高出口壓力等于或高于環(huán)境壓力的泵。

11、次級泵  secondary pump

    最高起動壓力或最高出口壓力低于大氣壓力或在較低壓力的情況下運行的真空泵，它通常與初級泵相聯(lián)，產(chǎn)生壓強要低于單臺初級泵產(chǎn)牛的壓強。

12、抽氣系統(tǒng)  pumping system

    用來產(chǎn)生真空的配有附件的真空泵或真空泵機組。附件包括管路、閥門、過濾器、冷卻器、控制裝置和能夠滿足性能要求的其他裝置。

13、容積真空泵  positive displacement pump 

    容積真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的裝置，氣體在排除前被壓縮。

14、蒸氣流泵  vapour pump

    采用高速定向蒸氣流攜帶和相互碰撞的氣體分子把氣體送至泵出口進行排氣的真空泵。即：擴散泵和擴散噴射泵。

15、低溫捕集泵  cryogenic entrapment pump

    被抽介質(zhì)或是在溫度非常低的表面上(低于120 K)捕集，或使用大的有效面積的多孔媒介物在低溫條件下來吸附被抽介質(zhì)的真空泵。例如：低溫泵和吸附泵。本文中使用的術語“低溫”，其溫度要低于120 K。

16、吸氣劑泵  getter pump

    主要通過與吸氣劑產(chǎn)生化學反應來吸氣的真空泵。吸氣劑通常為金屬或合金，其形狀可為塊狀(容積吸氣泵)或采用升華作用(升華泵)，以及用陰極濺射來蒸散吸氣劑(濺射離子泵)。

17、分子泵  molecular pump

    高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動量傳給氣體分子，使其傳輸?shù)奖玫某隹诘恼婵毡�。例如：牽引分子泵和渦輪分子泵。

18、最高允許工作壓力  maximum allowable working pressure

    由制造商規(guī)定的最高工作壓力。

19、最低允許工作壓力  minimum allowable working pressure

    由制造商規(guī)定的最低工作壓力。

20、烘烤  baking

    加熱真空系統(tǒng)的工藝，降低系統(tǒng)內(nèi)表面氣體解析速率從而獲得更低的壓力。

21、甲烷排除泵  methane drain pump

    一種容積式真空泵，用來抽除垃圾站、礦石中和視甲烷為有害氣體的環(huán)境下的甲烷氣體。