我國水泵泵機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB／T7369-1994《機(jī)械密封端面平面度檢驗(yàn)方法》規(guī)定了機(jī)械密封端面平面度的檢驗(yàn)裝置、檢驗(yàn)程序、平面度測定值的判讀等內(nèi)容，它適用于采用單色光源的光學(xué)法檢驗(yàn)機(jī)械密封環(huán)端面平面度。
 

1、檢驗(yàn)裝置

    推薦使用的檢驗(yàn)裝置結(jié)構(gòu)如圖1所示。光源應(yīng)為單色光源，檢驗(yàn)用光學(xué)平晶應(yīng)為一級精度(其平面度應(yīng)在0.02～0.10μm之間)，光學(xué)平晶的直徑應(yīng)大于被檢密封環(huán)端面的外徑。裝置放置在干燥、潔凈、避免振動(dòng)干擾的工作間內(nèi)。裝置要有一定的保護(hù)元件，避免光束直接照射到觀察者的皮膚或眼睛。如果采用反光鏡觀察，應(yīng)保證反光鏡沒有變形和失真。

圖1  廣一水泵械密封端面平面度檢驗(yàn)裝置
1-箱體；2-活動(dòng)門；3-密封環(huán)；4-光學(xué)平晶；5-帶孔活動(dòng)板；6-玻璃鏡；7-毛玻璃；8-鈉光燈管；9-穩(wěn)壓元件；l0-隔光板

2、檢驗(yàn)程序

    檢驗(yàn)時(shí)，環(huán)境溫度應(yīng)控制在(20±5)℃。打開平面度檢測儀的電源開關(guān)，預(yù)熱至燈管充分發(fā)光。清除被檢密封環(huán)端面和光學(xué)平晶表面上的纖維、顆粒、油漬、水汽等污物，且使密封環(huán)端面和光學(xué)平晶表面不受損傷。將被檢密封環(huán)輕輕放置在光學(xué)平晶上(或?qū)⑵骄лp輕放置在密封環(huán)上)，使密封環(huán)端面和光學(xué)平晶緊密接觸，判讀光譜帶數(shù)時(shí)不應(yīng)使其受到附加外力的作用。通過鏡面觀察密封端面的干涉圖形(或透過光學(xué)平晶觀察密封端面上的干涉圖形)，判讀干涉光譜帶。

 

3、平面度測定值的判讀

    平面度測定值的判讀按圖2至圖6的規(guī)定。對于未包含的圖形，判讀者應(yīng)在正確理解光干涉原理的基礎(chǔ)上，參照圖例進(jìn)行判讀。

    確定球形凸面和球形凹面時(shí)應(yīng)由上向下移動(dòng)眼睛觀察干涉圖，若干涉光譜帶向圓心移動(dòng)，則為球形凹面；若干涉光譜帶向外徑移動(dòng)，則為球形凸面。

    將平晶放在密封環(huán)上，用手指輕輕地在平晶外邊上加壓，若干涉光譜帶圍著手指彎曲，則為球形凸面；若干涉光譜帶向手指外彎曲，則為球形凹面。

    平面度測定值的計(jì)算公式為

       △=0.4 Nλ    (5-33)

式中  △-平面度的測定值，μm；

       N-干涉光譜帶數(shù)；

       λ-單色光波波長，μm。