作為半導體制造業(yè)的主要生產(chǎn)設備，真空泵對安全性和可靠性的要求越來越高。當用碳氫油密封的旋轉真空泵用于光刻膠和其他有氧場合時，有時會爆炸。霧化的油霧，熱的油蒸氣，摩擦，壓縮，高溫，異物，可能的靜電等，一旦與氧氣結合，可能會危害環(huán)境。這些因素可在真空泵中找到。在真空泵中，氮氣和其他惰性氣體被用作氣體爆炸，并且氮氣被用于降低油箱中的氧氣濃度(使氧氣濃度低于25%)，從而可以降低爆炸的風險。該方法已被半導體制造業(yè)采用新型真空泵將更適合集成電路制造過程中的腐蝕要求，例如，它可以由陶瓷，難熔金屬和貴金屬制成。

　　新的真空泵將保留當前泵的所有優(yōu)點，而不會帶來當前泵的缺點。在低溫泵方面，制冷機和壓縮機的整體可靠性將得到進一步提高。就用于粗抽的機械泵而言，間隙將增加至少一個數(shù)量級。一家日本電子公司估計，由于其高清潔度，在未來幾年內(nèi)，渦輪真空泵和低溫泵將取代擴散泵。新型電磁軸承渦輪分子泵將用于半導體制造業(yè)。

　　真空泵將具有更多的計算機界面，甚至將成為自診斷類型。由于粗抽的嚴重化學腐蝕問題，具有自我監(jiān)控能力的葉輪泵將取代活塞泵，而活塞泵將成為落后的技術代表。展望50年后，甚至可以在外太空進行許多半導體制造!未來的真空泵將只不過是面對處理室后面巨大而又不可預測的外部空間的閥門!